簡要描述:DWT-702精密溫度自動控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導體制造過程中各種外延、燒結(jié)和擴散等工藝,也適用于各種晶體生長、拉單晶等工藝。能對電阻性負載的各種電加熱爐能提供長時間連續(xù)性的高精度溫度自動控制。
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DWT-702精密溫度自動控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導體制造過程中各種外延、燒結(jié)和擴散等工藝,也適用于各種晶體生長、拉單晶等工藝。能對電阻性負載的各種電加熱爐能提供長時間連續(xù)性的高精度溫度自動控制。
型 式: 盤裝式、便攜式
設(shè)定范圍: O~19.999mV一配用熱電偶 S(LB-3)
O~59.999mV一配用熱電偶K (EU_2)
設(shè)定精度 0.3級
設(shè)定方式:五位十進數(shù)定拔盤
調(diào)節(jié)精度: ±O.1%
放大器時漂: ≤4μV/24小時
PID調(diào)節(jié)器參數(shù):P:2~250% 連續(xù)可調(diào)
I:O.5~10分鐘 連續(xù)可調(diào)
D:O~3分鐘 連續(xù)可調(diào)
輸出信號:移相脈沖,幅值>3V 寬度>30μs(20Ω負載)
移相范圍:每交流半周>150℃
數(shù)偶保護:斷偶時,偏差指示為正偏差,調(diào)節(jié)器輸出為零,儀表無輸出
抗干擾性:縱向220V50Hz:橫向5mV
工作環(huán)境:溫度為0~40℃相對濕度不超過
85%RH的無腐蝕性氣體的場合
大氣壓力:860~1060mbar
電 源:220V.AC±10%50Hz
重 量:約6.5kg